仪器型号

QV3020

测
量
范
围
（mm）

X

300

Y

200

Z

150

工
作
台
（mm）

硬铝合金台面

460*360

玻璃台面

360*260

承重

30kg

影
像
及
测
量
系
统

测量速度

MAX:200mm/s

CCD

美国TEO高分辨率彩色摄像机600TV线

变焦物镜

手动变倍卡位镜头0.7－4.5X(选配同轴光)

视频放大倍率

30－230X

工作距离

82mm

显示分辨率

0.0001 mm

运动控制系统            全闭环控制：直流伺服系统

重复性

1.5um

测量精度(μm)

XY轴≦(3+L/200)um,  Z轴(光学测量）≦(5+L/200)um

外形尺寸（mm)

900*720*1700

仪器重量(kg)

210kg

照明

可程控三环八区LED表面光及直轴轮廓光

电源

220V±10%(AC) 50HZ  电流大于10A